经过几十年的快速开发，微机电系统（MEMS）镜子正在进入新的应用领域。 图1，通过1D反射镜（沿单轴；a）和2D反射镜（沿双轴；b）移动光束。 微机电系统（MEMS）反射镜的基本功能是在曝光时偏转和移动聚焦光束。光束可以沿单轴（一维反射镜）或双轴（二维反射镜）移动。（见图1）这种接收和偏转聚焦光束的简单操作是扫描技术的核心，该技术正在众多应用中不断发展，这在不久之前还是无法想象的。 三种制造MEMS反射镜的竞争设计方法 制造MEMS镜子的技术在过去十年中已经成熟，主要有三种相互竞争的设计技术，