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ic交易网：何为电阻温度系数
发布日期：2024-11-13 06:35     点击次数：184
随着大规模集成电路向深亚微米时代的发展，制造工艺的可控范围将会变窄，对集成电路可靠性的要求也将会不断提高。 集成电路制造商需要更多的在线和实时监控方法来确保生产线上的产量和产品可靠性。 随着对集成电路封装的容量的要求相对于芯片尺寸越来越大但越来越小，金属互连层在产品的可靠性中起着越来越重要的作用。 芯片级应力迁移测试、恒温电迁移测试(Iso- thermal Electro MigraTIon)和封装级测试是监测金属互连层可靠性的主要方法。 但他们的共同问题是，这需要数百甚至数千小时的测试周期，这对于快速在线监控要求来说是不可接受的。 电阻温度系数作为反映电阻随温度变化的参数，广泛应用于金属互连线的可靠性测试。 详细阐述了电阻温度系数的内在含义。指出电阻温度系数的大小与金属互连层的微结构有关，并与电迁移测试结果有很强的相关性。 电阻温度系数可作为金属互连层可靠性监测的早期参数，也可用于工艺开发、产品验证和在线监测的早期预测。 电阻温度系数电阻温度系数(TCR)是指温度变化1摄氏度时电阻值的相对变化，单位为ppm/℃ 有负温度系数、正温度系数和临界温度系数，在这些温度下电阻只有在一定温度下才会突然变化。 紫铜的电阻温度系数为1/234.5℃ 电阻温度系数是一个与金属微观结构密切相关的参数。没有任何缺陷，它有一个理论上的最大值。 换句话说，电阻的温度系数本身在一定程度上代表了金属工艺的性能。 在新技术或在线监测的研发过程中，可以利用电阻温度系数进行金属可靠性的早期监测和快速评估。 在半导体中，金属互连层(铝或铜)的电阻与其温度在接近常温的范围内呈线性关系，这也是金属互连线在半导体测试中经常被用作温度传感器的原因。 在半导体中，电阻的温度系数用来表征金属电阻与其温度之间的关系。 电阻温度系数表示单位温度变化时电阻值(电阻率)的相对变化。 电阻的温度系数不是恒定的，而是随温度变化的值。 随着温度的升高，电阻的温度系数降低。 因此，我们讨论的电阻温度系数都是针对特定温度的。 对于具有纯晶体结构的理想金属，其电阻率来自晶格结构中电子的散射，并且与温度有很强的相关性。 由于技术的影响，实际金属的晶格结构不再完整，如界面、晶胞边界、缺陷和杂质的存在，电子散射在其上形成的电阻率是与温度无关的量。 因此，实际金属电阻率由两个独立的部分组成 电阻温度系数是一个与金属微观结构密切相关的参数。没有任何缺陷，Chinamobile(中移物联网)2G/3G/4G/5G模块 它有一个理论上的最大值。 换句话说，电阻的温度系数本身在一定程度上代表了金属工艺的性能。 在新技术或在线监测的研发过程中，可以利用电阻温度系数进行金属可靠性的早期监测和快速评估。 何为电阻温度系数 为什么用电阻比计算温度比用电阻绝对值更精确？自1927年采用国际实用温标以来，国际实用温标采用电阻比来计算温度。这是因为用标准铂电阻温度计测量时，用电阻比计算温度比用绝对电阻更精确。本文介绍了用电阻比计算温度比用绝对电阻计算温度更精确的原因。 1。实验结果证明，标准铂电阻温度计是水三相点的电阻Rtp，在防止或加热后变化的条件下，有三种自然变化的条件:①逐渐增加；(2)逐渐下降；(3)完全退火后Rtp趋于稳定 虽然电阻比有逐渐增大或减小的相同趋势，但它比电阻的绝对值变化稳定得多。 2。标准铂电阻温度计的电阻值由测温电桥或电位器测量。因此，至少应使用一个(或几个)标准电阻作为标准电阻。因此，在电阻值传输过程中，标准电阻的验证误差或不稳定性引起的误差，以及其他原因(包括系统误差)引起的误差，都会使人们将标准铂电阻温度计误认为是不稳定的。 如果用电阻比来计算温度，标准电阻的变化对标准铂电阻温度计的电阻比影响很小，甚至可以忽略不计。 3。虽然Rtp的稳定性是研究标准铂电阻温度计的主要依据，但是在温度计的测量范围内一定的固定温电阻比的稳定性也应该被研究。还规定温度计的感温元件必须满足系列中两个条件之一:WGa≥1.11807或WHg≤0.844235。这样，可以从电阻的绝对值和相对值的变化来考察标准铂电阻温度计的稳定性，这将使标准铂电阻温度计的研究更加全面，温度测量更加可靠和准确 用电阻比计算温度比用绝对电阻更精确。亿配芯城 - 电子元器件网上商城，提供上1400万种电子元器件采购、集成电路价格查询及交易，集成芯片查询，保证原厂正品，是国内专业的电子元器件采购平台，ic网,电子市场网,集成芯片,电子集成电路,ic技术资料下载,电子IC芯片批发,ic交易网,电子采购网,电子元器件商城,电子元器件交易,中国电子元器件网,电子元器件采购平台,亿配芯城

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